2023年刻蚀机概念股是哪些？（3月29日）

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北方华创：公司实现lCP刻蚀机交付突破1000腔，立式炉交付突破100台，以及多款新产品发布，标志公司半导体设备逐渐进入放量阶段，三年期公司发展动力来自于国产化需求以及中国大陆新增晶圆产能建设红利，新增产线建设高峰过后，五年期重点看平台化展开情况，产品线数量和技术迭代。

3月29日消息，北方华创3月29日主力资金净流入8.97亿元，超大单资金净流入7.92亿元，大单资金净流入1.04亿元，散户资金净流出4.54亿元。

从北方华创近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为239.08%，过去三年扣非净利润最低为2019年的7016.31万元，最高为2021年的8.07亿元。

芯源微：产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

3月29日资金净流入6598.26万元，超大单净流入3441.03万元，换手率3.77%，成交金额7.17亿元。

从芯源微近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为106.76%，过去三年扣非净利润最低为2020年的1287.51万元，最高为2021年的6383.9万元。

中微公司：等离子刻蚀机国产龙头，主要从事半导体设备的研发。

3月29日消息，中微公司主力净流入2.12亿元，超大单净流入1.37亿元，散户净流出9135.23万元。

从近三年扣非净利润复合增长来看，中微公司近三年扣非净利润复合增长为48.28%，过去三年扣非净利润最低为2020年的2331.94万元，最高为2021年的3.24亿元。

万业企业：子公司嘉芯半导体多次中标多款设备。包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）等。

3月29日该股主力资金净流入4295.1万元，超大单资金净流入3000.54万元，大单资金净流入1294.56万元，中单资金净流出1799.09万元，散户资金净流出2496.01万元。

从近三年扣非净利润复合增长来看，万业企业近三年扣非净利润复合增长为-27.11%，过去三年扣非净利润最低为2021年的2.33亿元，最高为2019年的4.39亿元。

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